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PECVD加工中(zhong)隨著等(deng)陽(yang)鋁正離子體中(zhong)高(gao)速公(gong)路運(yun)行(xing)(xing)的電(dian)子元器件擊中(zhong)到堿式鹽的的生(sheng)理(li)(li)響(xiang)應(ying)氣(qi)休原(yuan)子核(he)核(he)結構，就是使(shi)堿式鹽的生(sheng)理(li)(li)響(xiang)應(ying)氣(qi)休原(yuan)子核(he)核(he)結構換成(cheng)泥(ni)石或處在(zai)(zai)系統激(ji)活(huo)的情況輕(qing)易(yi)進(jin)行(xing)(xing)的生(sheng)理(li)(li)響(xiang)應(ying)；充分運(yun)用微波(bo)射頻等(deng)使(shi)有效pe膜成(cheng)分原(yuan)子核(he)的氣(qi)休，在(zai)(zai)局部(bu)位出(chu)現等(deng)陽(yang)鋁正離子體，而等(deng)陽(yang)鋁正離子體化(hua)學(xue)上化(hua)學(xue)活(huo)化(hua)很(hen)大(da)，很(hen)輕(qing)易(yi)進(jin)行(xing)(xing)的生(sheng)理(li)(li)響(xiang)應(ying)，在(zai)(zai)基片(pian)上積(ji)(ji)累出(chu)所盼(pan)望(wang)的pe膜；兼備大(da)體高(gao)溫低、積(ji)(ji)累速度快、破乳產品好、針孔較少、不適合(he)裂(lie)紋等(deng)長處； PECVD中大(da)型向(xiang)下(xia)進入設(she)置(zhi)式(shi)管式(shi)爐(lu)系統保證向(xiang)下(xia)爐(lu)體(ti)來(lai)保證飛速的(de)伸降(jiang)溫(wen)，配置(zhi)單各個(ge)(ge)的(de)渦流(liu)度(du)(du)(du)系統來(lai)完(wan)成(cheng)非常良好(hao)的(de)渦流(liu)度(du)(du)(du)度(du)(du)(du)；的(de)同時保證多路高精準度(du)(du)(du)水(shui)平用戶量(liang)計操(cao)控各個(ge)(ge)甲(jia)烷(wan)氣(qi)體(ti)。是實驗報告室滋生bopppe膜石墨烯材料，輕金屬bopppe膜，瓷質(zhi)bopppe膜，和好(hao)bopppe膜等的(de)非常良好(hao)選用。 關鍵領域： 校(xiao)園、教(jiao)學院(yuan)所主(zhu)要用于(yu)機械泵(beng)鍍(du)一層薄(bo)薄(bo)的(de)膜(mo)(mo)、微米pp膜(mo)(mo)材(cai)料準備，生長(chang)期pp膜(mo)(mo)納米材(cai)料，廢金(jin)屬pp膜(mo)(mo)，陶(tao)瓷制品pp膜(mo)(mo)，pppp膜(mo)(mo)等，也可以作為為存儲(chu)等陰(yin)離(li)子洗(xi)滌刻蝕的(de)使用。 | |
科技參數表： | |
爐體節構 | 兩層爐殼間配(pei)備風冷系統，合理(li)有效保障底殼接(jie)觸面溫(wen)； 鍋里最下面裝配有(you)四(si)只阻尼(ni)滑軌，中移動平衡 燃氣爐行帶有大量手動從設(she)備滑向另設(she)備，體現迅猛的升(sheng)溫和空氣冷卻 爐(lu)蓋可打開，還可以(yi)實時(shi)時(shi)間仔細觀察加溫(wen)的物品 |
外接電源 | 電壓(ya)降：AC220V 50/60Hz；電率：4KW |
爐管 | 高純石(shi)英石(shi)管，持續(xu)高溫下物理(li)化學(xue)安全(quan)穩(wen)定(ding)義強，耐防(fang)腐蝕，熱澎脹公式直(zhi)積 尺寸規(gui)格(ge)：Φ60*1250mm |
卡箍及撐起 | SUS304不(bu)繡鋼如何快速卡箍，在用高(gao)熱“O”型圈(quan)相(xiang)輔相(xiang)成封閉(bi)可領(ling)取高(gao)真(zhen)空泵 一(yi)管箍就(jiu)能完畢卡箍的聯系(xi)，放、取原物料不便快(kuai)速 可以調整節的(de)法蘭片(pian)支撐力(li)體(ti)系，均衡性爐管的(de)物理受(shou)力(li)支撐力(li)體(ti)系 構成進(jin)氣(qi)(qi)、吸氣(qi)(qi)、真(zhen)空(kong)泵抽口針(zhen)閥，KF膠(jiao)封圈及管接頭(tou)整合 |
高溫控制系統 | 供暖零(ling)件用于優良合金屬絲(si)0Cr27Al7Mo2，漆層強度高、經久牢(lao)固(gu) 熱處理區直徑：270mm 常溫區寬度：100mm 任務溫度因素：≤1150℃ 上限濕度：1200℃ 變多波特率：10℃/min |
溫控儀軟件系統 | 溫度表的控制(zhi)采取機器自動化(hua)調準能力(li)，具(ju)備(bei)著(zhu)PID轉(zhuan)換(huan)、自整(zheng)定用途 30段(duan)舉(ju)升溫軟件程序 測溫度(du)電子器件：N型(xing)電偶 恒溫(wen)恒濕高精準(zhun)度：±1℃ |
混氣設備 | 四路質量水平(ping)用戶計：數字(zi)5凸顯、有害氣體用戶自己保(bao)持 預置(zhi)不銹(xiu)鋼裝(zhuang)飾管(guan)嗎(ma)混氣箱，每路有害氣體(ti)管(guan)線均配備(bei)有逆止閥 管線選(xuan)取不銹焊(han)接鋼管，接頭為Φ6卡套 每路廢氣(qi)進氣(qi)壓縮空(kong)氣(qi)管擁有不(bu)銹(xiu)鋼裝飾(shi)管嗎(ma)針閥 憑借保持的面版上的開關按(an)鈕來上下調整的氣體視頻流量 熱度的規格：0~200sccm 總(zong)流量控制精度：±1.5% |
高(gao)重(zhong)力作用室重(zhong)力作用室程序 | 采(cai)取冷凝(ning)機(ji)組旋片真空系統泵+原子(zi)泵，限制高(gao)壓(ya)氣能夠達(da)到4.0*10^-4Pa 和好抽(chou)真空(kong)計，性(xing)能電(dian)容規+電(dian)離(li)規 抽速：110L/S 冷卻塔：風冷 主(zhu)機電源:AC220V 50/60Hz |
rf射頻電原系統 | 輸(shu)送耗油率:0-300W 工作效率穩(wen)定可靠度：±0.1% 微波射頻(pin)電頻(pin)帶寬(kuan)度:13.56MHz 比較穩確定(ding)±0.005% 較大逆向最大功率:120W rf射(she)頻24v電源自動化傳(chuan)輸接口:UHF 蒸發:風冷 電源模塊:AC187-253V 50/60Hz |
能選零部件 | 混氣系統(tong)軟件,中、高真空箱模式，各方面剛玉、石英(ying)(ying)砂石坩堝，石英(ying)(ying)砂石管，統(tong)計(ji)機管理游戲(xi)，無(wu)紙紀(ji)要儀(yi)(yi)，氧的含量闡述(shu)儀(yi)(yi)。 |
